L’esafluoruro di zolfo, SF₆, è un gas incolore, non infiammabile e liquefatto, che viene trasportato alla sua tensione di vapore pari a 2.2 kPa, ad una temperatura di 21°C.

Caratteristiche tecniche
Peso Molecolare: 146.05
Peso Specifico (Aria = 1): 5.1
Odore: Gas inodore
N° Immatricolazione CAS: 2551-62-4

Nell’industria dei semiconduttori, l’esafluoruro di zolfo è impiegato:

• quale sorgente di fluoro per il plasma etching ad alta densità: l’esafluoruro di zolfo offre un’elevata selettività senza generare prodotti secondari a base di carbonio.

Metalli: Ottone; Acciaio Inossidabile; Acciaio al Carbonio; Alluminio; Rame; Monel.
Materiali plastici: Kel-F; PTFE; Resine Fluoropolimeriche FEP e PFA; Tefzel; PVDF; Polivinilcloruro.
Elastomeri: Viton; Buna-N; Neoprene; Poliuretano.